电子、特种气体系统

特种气体：

电子工厂的掺杂、外延、离子注入、刻蚀等生产工艺中使用的具有自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。

特种气体系统：

是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。其中管道部分有气瓶集装格、气瓶柜(架)、阀门箱、阀门盘、气体面板、尾气处理装置、气体侦测系统。